专利代理机构成立的审查程序如下：

1、申请

2、形式审查

3、受理

4、审核

5、报国家知识产权局审批

申请材料：

表格:设立专利代理机构申请书

附件:专利代理机构章程(合伙协议书)、专利代理人登记表、专利代理人资格证书

资金证明

办公场所及必要的工作设施证明

法定依据：《专利代理条例》第六条申请成立办理国内专利事务的专利代理机构，或者律师事务所申请开办专利代理业务的，应当经过其主管机关同意后，报请省、自治区、直辖市专利管理机关审查;没有主管机关的，可以直接报请省、自治区、直辖市专利管理机关审查。审查同意的，由审查机关报中国专利局审批

前置条件：

1、具有按规定确定的机构名称;

2、具有章程(合伙协议书);

3、具有规定数目的从业人员;

4、专利代理机构的合伙人或者股东具备《专利代理管理办法》规定的条件;

5、具有必要的资金(合伙制专利代理机构不低于5万元人民币，有限责任制专利代理机构不低于10元万人民币);

6、具有固定的办公场所及必要的工作设施。