没有程序的正义就没有实体的正义。依照法定的程序实施行政许可，是保证行政许可公平、公正，保证申请人合法权益以及保证行政机关依法行政的重要条件。本法第四章根据不同情况，对行政许可实施的一般程序作出了详细规定，其他有关的法律、法规、规章对一些特定行政许可的程序作出了专门规定，这些规定都是行政机关实施行政许可的依据。上级行政机关对下级行政机关实施行政许可的监督检查，一个很重要的内容，就是监督检查下级行政机关在实施行政许可时，是否严格以本法律以及其他有关的法律、法规、规章为依据，特别是要监督检查下级行政机关在实施行政许可过程中，是否认真落实了那些法定的具有关键意义的程序。比如，要根据本法第四章的规定，监督检查下级行政机关是否将有关行政许可的事项、依据、条件、数量、程序、期限以及需要提交的全部材料的目录等在办公场所公示;要监督检查下级行政机关在实施自然资源的开发利用和公共资源的配置以及直接关系公共利益的特定行业的市场准入等事项的行政许可时，是否依法通过招标、拍卖等公平竞争的方式作出决定;要监督检查下级行政机关在实施直接关系申请人和利害关系人之间重大利益的行政许可时，是否严格依法告知了有关当事人具有申请听证的权利，并依照法定程序进行了听证;要监督检查下级行政机关是否在法定的期限内实施了行政许可;要监督检查下级行政机关在作出行政许可决定后，是否将行政许可决定和申请人的有关资料予以公开，允许公众查阅;等。如果发现下级行政机关在实施行政许可的程序中有违法行为，上级行政机关应当及时采取措施予以纠正。